低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究

低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究
DOI:
                        
作者:
                        
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
基金项目:

Author:

Affiliation:

Fund Project:

摘要:

本文研究了电子束退火对低频大功率晶体管芯片的影响,结果证明,经电子束退火,芯片的机械抛光损伤、热氧化层错和位错都有显著减少.本文还研究了低频大功率晶体管的"云雾击穿".讨论了电子束退火对"云雾击穿"的影响.

Abstract:

参考文献

相似文献

引证文献

万积庆,曾云,廖晓华.低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究[J].湖南大学学报：自然科学版,1985,12(2):

复制