卤素离子与苯骈三氮唑协同成膜动力学的体声波传感技术研究

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卤素离子与苯骈三氮唑协同成膜动力学的体声波传感技术研究
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基金项目:国家自然科学基金 (2 0 0 770 0 6 )，湖南省自然科学基金 (0 0 JJY2 0 14 )资助课题

BAW Study on Growth Kinetics of Synergistic Films of Benzotriazole (BTA) and Halide Ion

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采用体声波传感技术就卤素离子与铜缓蚀剂——苯骈三氮唑( BTA)协同成膜的动力学及相应复合膜的稳定性进行了研究 .结果表明 ,卤素离子 ( F- ,Cl- ,Br- ,I- )中仅 I- 与 BTA具有协同效应 ,能有效地提高BTA的缓蚀效果和膜层稳定性 ,同时 ,对 BTA的成膜动力学有明显影响

Abstract:

The growth kinetics and the stability of synergistic films of benzotriazole (BTA) and halide ion (X -) were investigated by bulk acoustic wave (BAW) method.The results show that only I - in halide ions (F -,Cl -,Br -,I -) has synergistic effect with

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罗胜联,陈金华,陈凡,魏万之.卤素离子与苯骈三氮唑协同成膜动力学的体声波传感技术研究[J].湖南大学学报：自然科学版,2002,29(1):

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