采用自行设计的超微粉末制备装置，在压力为50～1000Pa的Ar气中，利用中频感应加热对坩埚中的金属熔融蒸发，并以水冷螺线管捕获蒸发过程中形成的粉末，研究了蒸发工艺参数对金属蒸发速率、粉末产率和粒度、形貌的影响规律．实验结果表明：采取提高蒸发温度、减小惰性气体压力、加大坩埚直径以及保持金属液面与坩埚口部平齐等措施均能显著地提高金属的蒸发速率和超微粉末产率；在感应加热蒸发法中，粉末和蒸气原子在坩埚口部堆集结壳现象是造成金属难以长时间连续蒸发、金属有效蒸发速率及粉末产率降低的关键原因之一．可以通过加大坩埚直径和保持液面与坩埚口部平齐来克服．