黄深明,杨书语,张红南
本文提出一种新的金属——氧化物——半导体(MOS)电容器结构,取名共岛MOS电容器。在双极型集成电路中,它具有和各种元件共置一个隔离岛的特点,能增加集成电路设计的灵活性,缩小芯片面积,为振荡器集成化提供一个只需要四块掩模版的简单工艺的设计方法。最后,本文介绍共岛MOS电容器在晶体振荡器集成化中应用的满意结果。
黄深明,杨书语,张红南.用于双极型集成电路的共岛金属——氧化物——半导体(MOS)电容器[J].湖南大学学报：自然科学版,1983,10(3):
