万积庆,曾云,廖晓华
本文研究了电子束退火对低频大功率晶体管芯片的影响,结果证明,经电子束退火,芯片的机械抛光损伤、热氧化层错和位错都有显著减少.本文还研究了低频大功率晶体管的"云雾击穿".讨论了电子束退火对"云雾击穿"的影响.
万积庆,曾云,廖晓华.低频大功率晶体管芯片的电子束退火研究[J].湖南大学学报：自然科学版,1985,12(2):
