本文推导了表面二维吸附层的低能电子衍射强度的解析表达式,计算了两个现实模型表面的衍射图象,提出了由低能电子衍射图象定量确定吸附畴尺寸分布的方法.当吸附畴的尺寸分布服从规则分布时,超晶格衍射束发生分裂,测量卫星斑点和中心斑点之间的距离,可定量确定吸附畴的大小;当吸附畴的尺寸分布服从无规分布时,超晶格衍射柬增宽,衍射斑点增大,测量衍射束的半峰宽,可定量确定吸附畴的平均尺寸.