A-Si∶H磷掺杂固相效率

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A-Si∶H磷掺杂固相效率
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                        颜一凡颜一凡

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证明了ａ－ＳｉＨ磷掺杂固相效率η可表示成磷气相浓度的解析函数，其系数可由磷掺杂饱和极限、悬挂键密度和带尾态电子密度等的实验值决定

关键词:磷掺杂，固相效率，解析函数

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颜一凡. A-Si∶H磷掺杂固相效率[J].湖南大学学报：自然科学版,1997,24(1):

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