曾云,谢海情,曾健平,张国梁,王太宏
湖南省研究生科研创新项目,湖南省科技计划项目?
ZENG Yun,XIE Hai-qing,ZENG Jian-ping,ZHANG Guo-liang,WANG Tai-hong
基于SOI薄膜,提出一种引入P^+N注入结的光敏BJMOSFET(Bipolar Junction Metal—Oxide—Semiconductor Field Effect Transistor)结构.在此光敏器件中,栅电压使薄膜耗尽但不反型,光生载流子的复合可以忽略.根据基本的半导体方程,建立该器件的物理模型.数值模拟结果显示:在光敏BJMOSFET中,光生电子和空穴都参与导电,和传统的MOS管相比具有较高的灵敏度.此外,它能消除CMOS工艺下PN结大的暗电流,完全与CMOS工艺兼容.
曾云,谢海情,曾健平,张国梁,王太宏.光敏BJMOSFET的物理模型及数值模拟[J].湖南大学学报:自然科学版,2009,36(5):