摘要:为降低六维力/力矩传感器的高度尺寸对基座和驱动部件引起的附加力矩，结合有限元分析法、SDO方法和神经网络方法，设计了一种新型的基于应变检测原理的超薄六维力/力矩传感器，其高度尺寸可控制在15 mm以内.为进一步提高设计的六维力/力矩传感器的精度，对其进行非线性维间解耦和标定，实验结果表明，传感器精度性能优良，最大线性度误差为0.15%F.S.，其设计和优化过程正确合理，最大耦合误差为1.6%F.S.，各维在满量程时的输出相等，具有各维同性.